摻氣微調(diào)閥是一個針閥，作為微量空氣進(jìn)入干燥箱以實現(xiàn)壓力控制的閥門。一般與電磁閥組合使用，用微調(diào)閥調(diào)節(jié)進(jìn)氣量的大小，用電磁閥控制真空上下偏差。主要是用在產(chǎn)品凍干，升華階段用于摻氣。逆時針流量增大，順時針流量減小。 放氣電磁閥是控制無菌空氣進(jìn)入箱體內(nèi)的閥門，當(dāng)放氣電磁閥通電，線圈產(chǎn)生磁場，銜鐵動作，打開電磁閥兩邊通道，無菌空氣從外邊進(jìn)到箱內(nèi)。 注意閥門安裝方向和共工作電壓，箭頭方向應(yīng)與其所在的管路的氣體流向一致。
MKS摻氣閥結(jié)構(gòu)：
閥體 2.卡圈 3.中間軸 4.線圈組件 5.電樞/插頭組件（帶O形圈） 6.孔板組件（不帶O型圈） 7. 接頭 8.內(nèi)六角螺釘（8-32 x 0.50） 9.六角螺母（7/16-14） 10. O形圈，氟橡膠，尺寸2-016 11. O形圈，氟橡膠，尺寸2-009 12. O形圈，氟橡膠，尺寸3-902
MKS摻氣閥驅(qū)動器：接摻氣閥這端是9芯插座，接PLC和電源是15芯插頭。 指示燈為橙色時，PLC無模擬量輸出。 指示燈為黃色時，PLC模擬量100%輸出，摻氣閥在完全打開狀態(tài)。
